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衡全科密有限公司 / 旭海騰科技有限公司

HENG QUAN PRECISION CO.,LTD



 

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  XY平台+旋轉平台+真空吸盤

  (XY Linear Stage+Rotary Stage+Vacuum Chuck)

   型號:HQP-LSM33C-250-250

   (行程長短可依客戶需求設計製造)

 

 

XYT三軸平台

 

  HQP-LSM33C-250-250 三軸線性馬達平台特點

  • 此平台為雙軸直線運動加旋轉運動及真空吸盤之平台

  • 真空吸盤可因客戶需求不同,所設計出的真空吸盤亦不同;因吸孔孔徑的大小及孔數都會影響真空吸力的強度。

  • 線性馬達直接驅動、高加減速、高動態性、高定位精度。

  • 鋁合金底板一體加工成型,精密研磨、加工組裝面精度高。

  • 採用知名大廠之HG系列線性滑軌,高速度、高負荷、高剛性、高精度化及高壽命。

  • HG系列之線性滑軌之特性有:具備四方向等負載特色、自動調心的功能及可吸收安裝面的裝配誤差。

  • 使用知名大廠線馬驅動器可靠度高、效能佳、功能強。

  • 以FEM結構最佳化設計、平台剛性佳而組裝精度高。

  • 英國Renishaw非接觸式光學尺定位、位置回饋解析度高。

  • 不鏽鋼蓋板可防較大型異物掉落且可保護內部的線馬定子。

  • 可內建光電式極限開關。

  • 採用高品質的標準鏈條與訂製線槽。 

  • XY平台+小角度之旋轉平台,可來回移動定位且定位精度高,而平台負載大。

  • 旋轉軸可用DD馬達(旋轉平台)可360度旋轉或用本公司另一項產品其特點詳載於本公司的旋轉平台網頁內、或由本公司另行設計。

   XY+Rotary Stage+Vacuum Chuck

   三軸線性馬達平台之應用

   HQP-LSM33C-250-250 規格

   此三軸線性馬達定位平台是由XY線性馬達平台加上旋轉軸平台再加上真空吸盤組合而成,而旋轉軸平台可以搭配DD Motor或是本公司所設計的旋轉平台,可依機台的應用設計。

   此三軸線馬平台之優點為:工件加工或檢測時需要重現精度高且穩定性高之工作環境,因為線性馬達作動速度快,可快速到達定位且定位精度高;而此照片上旋轉軸使用的是本公司所設計另一形式的旋轉平台,帶動上面的真空吸盤作+-5度的來回旋轉對位,定位精度高且能承受較重的工件,因成本較低,亦可替業主節省機台的購置成本增加競爭力。

   其應用場合如:LED檢測、LCD檢測、雷射切割、晶圓切割、晶圓檢測、視覺檢測、光學檢測、PCB對位機.....等等。

驅動軸 下軸 上軸 Rotary Stage Vacuum Chuck
行程(mm) 250 250 +/- 5

 

 

可依業主不同需求客製化

驅動方式 線性馬達(直線電機) 線性馬達(直線電機) 滾珠螺桿+伺服(步進)馬達
位置回饋 光學尺 光學尺 Encoder
解析度(um) 0.1~1 0.1~1 0.001
重現精度(um)
± 1
± 1
± 0.001
最大速度(mm/sec) 1000 1000 -
最大加速度(m/sec^2) 10(空載) 10(空載) -
最大負載(kg) 20
平台重量(kg) 60

 

衡全科密所生產的精密線馬平台及機台,均為客製品合乎客戶特殊需求應用。

其設計過程皆與客戶深入溝通,了解客戶需求所設計製造出的平台與機台,在精度上皆有嚴謹的要求,組裝程序上也有相當訓練。

 

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