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XY線性馬達定位平台

 

 

stage/XY線性馬達平台

XYT三軸定位平台

(XY+旋轉平台)


XYT三軸平台

XY精密線性平台

(XY+DD馬達)

 

XYT三軸平台

XY龍門式直線電機平台

 


龍門平台

XYT三軸平台

(XY+旋轉平台+真空吸盤)

 

 

XYT三軸平台

XYZT四軸線馬平台

(立柱式)

 

立柱式四軸定位平台

XY雙軸線馬平台

(龍門式)

 

龍門式雙軸花崗岩線馬平台

XYZT四軸線馬平台

(龍門式)

龍門式花崗岩平台

 

龍門式花崗石線性馬達定位平台

 

龍門型花崗石線性馬達平台

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組裝精度要求
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雷射干涉儀量測精度

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衡全科密所生產的精密平台及機台,廣泛應用於各產業如半導體產業、LCD產業、PCB產業、傳統產業製程改良及學術界。

其設計過程皆與客戶深入溝通,了解客戶需求所設計製造出的平台與機台,在精度上皆有嚴謹的要求,組裝程序上也有相當訓練。

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